조세특례제한법 시행규칙
별표·별지428건 · 보관 376건 · 미완 52건
별표 제5호의2삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제5호의3삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제5호의4삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제5호의5삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제8호삭제 <2021. 3. 16.>삭제
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별표 제8호의7삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제8호의8삭제 <2021. 3. 16.>삭제
별표 제12호삭제 <2000.3.30>삭제
서식 제2호의5삭제 <2022. 3. 18.>삭제
서식 제2호의6삭제 <2022. 3. 18.>삭제
서식 제2호의7삭제 <2003.3.24>삭제
서식 제3호일반연구 및 인력개발비 명세서, 신성장ㆍ원천기술 연구개발비 명세서, 국가전략기술 연구개발비 명세서, 해당 연도의 일반 연구ㆍ인력개발비 발생 명세, 해당 연도의 신성장ㆍ원천기술 및 국가전략기술 연구개발비 발생 명세, 연구과제 총괄표, 연구개발 인력 인건비 명세서표로 보기hwp 내려받기
서식 제9호의3삭제 <2024. 12. 31.>삭제
서식 제32호의2삭제 <2008.4.29>삭제
서식 제33호의2삭제 <2008.4.29>삭제
서식 제36호삭제 <2002.3.30>삭제
서식 제38호의2삭제 <2017. 3. 17.>삭제
서식 제42호의2삭제 <2009.4.7>삭제
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서식 제46호삭제 <2021. 3. 16.>삭제
서식 제46호의3삭제 <2002.3.30>삭제
서식 제57호삭제 <2002.3.30>삭제
서식 제59호삭제 <2017. 3. 17.>삭제
서식 제59호의4삭제 <2021. 3. 16.>삭제
서식 제60호의2삭제 <2002.3.30>삭제
서식 제60호의3삭제 <2002.3.30>삭제
서식 제60호의4삭제 <2011.4.7>삭제
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서식 제60호의21삭제 <2025. 3. 21.>삭제
서식 제64호의14삭제 <2024. 3. 22.>삭제
서식 제64호의24삭제 <2026. 3. 20.>삭제
서식 제74호삭제 <2011.4.7>삭제
서식 제74호의2삭제 <2011.4.7>삭제
서식 제74호의3삭제 <2008.4.29>삭제
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서식 제74호의7삭제 <2011.4.7>삭제
서식 제76호삭제 <2017. 3. 17.>삭제
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서식 제76호의3삭제 <2017. 3. 17.>삭제
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서식 제84호삭제 <2014.3.14>삭제
서식 제98호삭제 <2009.4.7>삭제
서식 제100호삭제 <2014.3.14>삭제
서식 제101호삭제 <2014.3.14>삭제
서식 제102호삭제 <2014.3.14>삭제
| ■ 조세특례제한법 시행규칙 [별표 7의2] <개정 2026. 3. 20.> | ||
| 신에너지 및 재생에너지를 생산하기 위한 시설을 제조하는 시설 (제13조의11제4항 관련) | ||
| 구 분 | 시설내용 | 적용범위 |
| 1. 태양광설비 | 가. 태양전지용 다결정 실리콘 제조설비 | 1. 삼염화실란 생산용 염화공정 장치 (Tri-chloro Silane Chlorinator Facilities) 2. 삼염화실란 정제 공정 장치 (Tri-chloro Silane Purifier Facilities) 3. 폴리실리콘 생산용 화학 증착 반응 장치 (Polysilicon Chemical Vapor Deposition Reactor Facilities) 4. 삼염화실란 폐가스 회수 장치 (Tri-chloro Silane Vent Gas Recycling Facilities) 5. 실리콘테트라플로라이드 생산용 제조 설비(SiF4 Production Facilities) 6. 소듐알류미늄하이드라이드 생산용 제조 설비(NaAlH4 Production Facilities) 7. 모노실란 제조 설비(SiH4 Production Facilities) 8. 모노실란 고순도 정제 설비(SiH4 Purifier Facilities) 9. 폴리실리콘 생산용 화학 증착 반응 장치(Polysilicon Chemical Vapor Deposition Reactor Facilities) 10. 모노실란 폐가스 회수 장치(SiH4 Vent Gas Recycling Facilities) |
| 나. 태양광전지용 실리콘웨이퍼 제조설비 | 1. 단결정성장로(Grower) 2. 다결정성장로 (Multicrystalline Casting Furnace) 3. 크로핑소 (Cropping Saw) 4. 면연마기 (Rotary Grinding System) 5. 곡면 또는 평면용 면취기 (R/C Grinder, R/C Cutter) 6. 사각기 (Squaring Machine) 7. 와이어소 (Multi Wire Sawer) 8. 슬러리재생설비 (Slurry Recycling System) 9. 웨이퍼세정기 (Cleaning System) 10. 전자수명 측정장치 (Minority Carrier Lifetime Measurement System) 11. 웨이퍼 저항측정기 (Resistivity Tester for Wafer) | |
| 다. 태양전지 제조설비 | 1. 웨이퍼 검사 장비(Wafer Inspection) 2. 표면 식각 장비(Texturing) 3. 불순물 확산 장비(Diffusion) 4. 산화막 제거 장비(PSG Removal) 5. 반사방지막 증착 장비(PECVD) 6. 금속전극 형성 장비(Metallization) 7. 전극 소성 장비(Firing) 8. 레이저 절연 장비(Isolation) 9. 셀 검사/분류 장비(Cell Tester/Sorter) 10. 공정 자동화 장비(Automation) | |
| 라. 태양광모듈 제조설비 | 1. 라미네이터 (Laminator) 2. 유리세척기 (Glass Washer) 3. 태양전지성능측정기 (Cell Tester) 4. 스트링ㆍ테버장비 (String & Tabber) 5. 레이업머신 (Lay-up M/C) 6. 태양전지 또는 모듈성능측정기 (Simulator) 7. 프레이밍머신 (Framing M/C) 8. 큐어링 오븐 (Curing Oven) 9. 내구성 시험용 오븐 (Oven for Cycling Test) 10. 레이저 스크라이버 (Laser Scriber) 11. 박막 실리콘 태양전지용 화학기상증착장비 (Chemical Vapor Deposition) 12. 박막 실리콘 태양전지용 스퍼터링 장비(Sputter) 13. 박막 실리콘 태양전지용 글라스 반송 시스템 (Glass Transfer System) 14. 박막 실리콘 태양전지용 에지 트리머(Edge Trimmer) 15. 정션박스 어셈블리 시스템 (Junction Box Assembly System) 16. 빛조사 열화장치 (Light Soaking System) | |
| 2. 풍력설비 | 풍력발전용 발전기 제조설비 | 1. 풍력발전기 조립 대차(Travelling Car for Windturbine Assembly) 2. 동기발전기 시험기 (Synchronous Generator Tester) 3. 풍력발전기 조립 시험기 (Assembly Tester for Windturbine) 4. 로터허브 조립 시험기(Assembly Tester for Rotor Hub) 5. 레이저 트래커 (3D Measurement Machine) 6. 피치베어링 볼트조립 로봇 (Bolting Robot for Pitch Bearing) |
| 3. 수력설비 | 소수력발전용 수차 및 발전기 제조설비 | 1. 유전율 측정시험기 (Insulating Diagnosis & Analysis System) 2. 부분방전 시험기 (Partial Discharge Detector) |
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